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15 系列光电离装置

VSH-15G/VSC-15G

全球首款基于碳纳米管X射线管的大功率、

可进行高速控制的高性能光电离装置

这是全球首款搭载有碳纳米管X射线管的大功率、可高速控制的光电离装置。

它适合用于要求大面积和高水平静电消除能力的领域，且可以连接到电脑，

从而识别开/关、管累计时间以及故障等。

※ 机头请务必安装在已做好遮蔽的设备内。

特点

  • 机头
    • 搭载有碳纳米管X射线管，可实现大功率、
      高速控制
    • 消除大面积远处物体的静电
  • 控制器
    • 显示机头的使用累计时间
    • 采用RS-485通信，可与外部设备连接并管理

      （远程调整）
    • 最多可连接4个机头单元
  • 完美的离子平衡
  • 不产生异物
  • 无需维护
  • 静电消除速度快
  • 不产生臭氧

应用

  • 半导体
    加工晶圆和模具时
  • 胶片
    剥离/卷置/移送区间
  • 显示器
    退回（移送）区间
  • 塑料
    注塑/零部件/材料供应
  • 医药粉剂包装
     
  • 设备内部
    摩擦机、步进式光刻机等

规格

VSH-15G / VSC-15G 产品规格

产品 项目 内容
通用 驱动温度 0~40℃
储存温度 -10℃~60℃
驱动湿度 60%以内
储存湿度 85%以内
机头
(VSH-15G)		 管电压(DC) 15 kV
照射角度 150º
电源输入 DC +24 V
最大功耗 38 W
重量 0.4 kg
控制器
(VSC-15G)		 电源输入 AC 100~240 V, 50/60 Hz
最大功耗 70 W
重量 0.65 kg
I/O接口 远程、互锁、故障
通信 RS-485
I/O销钉连接器 DSUB 25P母座
* 为了提高质量，设计和产品规格可能会直接更改而不另行通知，敬请谅解。

衰减时间率

* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。

遮蔽方法

材质 遮蔽厚度(mm)
不锈钢 0.5
铝 9
玻璃 17
PVC 14
丙烯酸纤维 148
* 上述遮蔽厚度设计值是遮蔽体距离放射线源10cm时的值，距离低于该数值时，需要增加遮蔽厚度。
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时，测量结果须在法律规定的限值（10μSv/h）范围内。

尺寸(mm)

  • 机头 (VSH-15G)

  • 控制器 (VSC-15G)

部件

部件

  • Head (VSH-15G) / max. 1ea
  • Controller (VSC-15G) / 1ea
  • Output Cable (20m) / 1ea
  • D-Sub Signal Cable 25pin
    (5m) / 1ea
    Part #: D-15P-0005
  • Fixing Bolt
    M4 X 0.7pitch X 10L / max. 8ea
  • Power Cable (1.8m) / 1ea

下载
您可以下载产品目录和使用手册。