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功率型真空馈通
向真空室内部供应外部电力的设备
这是一个向真空室内部供应电力的设备,适合半导体处理设备、
粒子加速器、熔炉、分析设备、X射线检测设备等的真空装置。
另外,它还是在高温、高电压的设备中
也能使用(电极:使用钼)的最佳设备。
特点
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- 能够在室壁提供密封和电绝缘
- 为需要密封性和电绝缘的应用提供解决方案
- 可根据客户规格变更电极和长度
应用
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适合半导体处理设备、粒子加速器、熔炉、分析设备、X射线检测设备、
高温、高压设备等
(电极:使用钼)