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15系列光电离装置
VSH-15Z-L/VSC-15Z
用性能优异的光电离装置快速消除静电
这是一款性能优异的15kV光电离装置,可在要求大面积和高
水平静电消除能力的领域使用。
特点
-
机头
- 采用分离式或一体式换管型机头,维护成本低
- 用大功率光电离装置快速消除静电
-
控制器
- 显示机头的使用累计时间
- 采用RS-485通信,可与外部设备连接并管理
(远程调整) - 最多可连接4个机头单元
- 完美的离子平衡
- 不产生异物
- 无需维护
- 静电消除速度快
- 不产生臭氧
应用
-
半导体
加工晶圆和模具时 -
胶片
剥离/卷置/移送区间 -
显示器
退回(移送)区间 -
塑料
注塑/零部件/材料供应 -
医药粉剂包装
-
设备内部
摩擦机、步进式光刻机等
规格
VSH-15Z-L / VSC-15Z 产品规格
产品 | 项目 | 内容 |
---|---|---|
通用 | 驱动温度 | 0~40℃ |
储存温度 | -10℃~60℃ | |
驱动湿度 | 60%以内 | |
储存湿度 | 85%以内 | |
机头 (VSH-15Z-L) |
管电压(DC) | 15 kV |
照射角度 | 150º | |
电源输入 | DC +24 V | |
最大功耗 | 20 W | |
重量 | 0.6 kg | |
控制器 (VSC-15Z) |
电源输入 | AC 100~240 V, 50/60 Hz |
最大功耗 | 100 W | |
重量 | 0.9 kg | |
I/O接口 | 远程、互锁、故障 | |
通信 | RS-485 | |
I/O销钉连接器 | DSUB 15P母座 |
衰减时间率
* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。遮蔽方法
材质 | 遮蔽厚度(mm) |
---|---|
不锈钢 | 0.5 |
铝 | 9 |
玻璃 | 17 |
PVC | 14 |
丙烯酸纤维 | 148 |
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时,测量结果须在法律规定的限值(10μSv/h)范围内。
尺寸(mm)
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机头 (VSH-15Z-L)
-
控制器 (VSC-15Z)
部件
部件
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Head (VSH-15Z-L) / max. 4ea
-
Controller (VSC-15Z) / 1ea
-
Output Cable (15m) / max. 4eaPart #: Z-OC-0010
-
D-Sub male Cable 15pin
(5m) / 1ea
Part #: D-15P-0005 -
Fixing Bolt
1/4” X 15L / max. 4ea
1/4" X 8L / max. 4ea
M4 X 0.7pitch X 10L / max. 8ea -
Power Cable
1.8m / 1ea