05系列光电离装置
VSH-05S/VSC-104E
放射线许可证与申报义务免除产品！
最多可同时连接4个机头
本品为5kV低功率产品，采用安装空间不受限制的超小型机头，
可便捷安装。
本产品系考虑维护成本经济性的换管型号，
依据《原子能安全法》，属于免除单独申报义务的产品。
特点
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机头
- 换管型机头，维护成本低
- 安装空间不受限制的超小型机头
- 消除附近物体的静电
- 免除放射线许可证与申报义务（韩国）
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控制器
- 显示机头的使用累计时间
- 采用RS-485通信，可与外部设备连接并管理
- 最多可连接4个机头单元
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完美的离子平衡
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不产生异物
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无需维护
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静电消除速度快
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不产生臭氧
应用
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半导体
加工晶圆和模具时 -
胶片
剥离/卷置/移送区间 -
显示器
退回（移送）区间 -
塑料
注塑/零部件/材料供应 -
医药粉剂包装
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设备内部
摩擦机、步进式光刻机等
规格
VSN-05S / VSC-104E 产品规格
| 产品 | 项目 | 内容 |
|---|---|---|
| 通用 | 驱动温度 | 0~40℃ |
| 储存温度 | -10℃~60℃ | |
| 驱动湿度 | 60%以内 | |
| 储存湿度 | 85%以内 | |
| 机头 (VSN-05S) |
管电压（DC） | 4.98 kV |
| 照射角度 | 150º | |
| 电源输入 | DC +12 V | |
| 最大功耗 | 8 W | |
| 重量 | 0.4 kg | |
| 控制器 (VSC-104E) |
电源输入 | AC 100~240 V, 50/60 Hz |
| 最大功耗 | 56 W | |
| 重量 | 0.65 kg | |
| I/O接口 | 远程、互锁、故障、超时 | |
| 通信 | RS-485 | |
| I/O销钉连接器 | DSUB 25P母座 |
衰减时间率
* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。
遮蔽方法
| 材质 | 遮蔽厚度(mm) |
|---|---|
| 不锈钢 | 0.2 |
| 铝 | 0.4 |
| 玻璃 | 0.7 |
| PVC | 0.6 |
| 丙烯酸纤维 | 8 |
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时，测量结果须在法律规定的限值（10μSv/h）范围内。
尺寸(mm)
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机头 (VSN-05S)
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控制器 (VSC-104E)
部件
部件
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Head (VSN-05S) / max. 4ea
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Controller (VSC-104E) / 1ea
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Output Cable (15m) / max. 4ea
Part #: E-OC-0015
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D-Sub male Cable 25pin
(5m) / 1ea
Part #: D-25P-0005
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Fixing Bolt
1/4”X 15L / max. 4ea
1/4 X 8L / max. 4ea
M4 x 0.7pitch x 10L / max. 8ea
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Power Cable (1.8m) / 1ea
