10系列光电离装置
VSH-10E/VSC-104E
最多可同时连接4个机头
不产生臭氧，狭小空间内也能安装，且可以连接到电脑，
从而识别开/关、管使用时间以及故障等。
特点
-
机头
- 安装空间不受限制的超小型机头
- 消除远处物体的静电
-
控制器
- 显示机头的使用累计时间
- 采用RS-485通信，可与外部设备连接并管理
（远程调整） - 最多可连接4个机头单元
-
完美的离子平衡
-
不产生异物
-
无需维护
-
静电消除速度快
-
不产生臭氧
应用
-
半导体
加工晶圆和模具时 -
胶片
剥离/卷置/移送区间 -
显示器
退回（移送）区间 -
塑料
注塑/零部件/材料供应 -
医药粉剂包装
-
设备内部
摩擦机、步进式光刻机等
规格
VSH-10E / VSC-104E 产品规格
| 产品 | 项目 | 内容 |
|---|---|---|
| 通用 | 驱动温度 | 0~40℃ |
| 储存温度 | -10℃~60℃ | |
| 驱动湿度 | 60%以内 | |
| 储存湿度 | 85%以内 | |
| 机头 (VSH-10E) |
管电压（DC） | 11 kV |
| 照射角度 | 150º | |
| 电源输入 | DC +12 V | |
| 最大功耗 | 8 W | |
| 重量 | 0.4 kg | |
| 控制器 (VSC-104E) |
电源输入 | AC 100~240 V, 50/60 Hz |
| 最大功耗 | 56 W | |
| 重量 | 0.65 kg | |
| I/O接口 | 远程、互锁、故障、超时 | |
| 通信 | RS-485 | |
| I/O销钉连接器 | DSUB 25P母座 |
衰减时间率
* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。
遮蔽方法
| 材质 | 遮蔽厚度(mm) |
|---|---|
| 不锈钢 | 0.2 |
| 铝 | 3 |
| 玻璃 | 5 |
| PVC | 4 |
| 丙烯酸纤维 | 46 |
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时，测量结果须在法律规定的限值（10μSv/h）范围内。
尺寸(mm)
-
机头 (VSH-10E)
-
控制器 (VSC-104E)
部件
部件
-
Head (VSH-10E) / max. 4ea
-
Controller (VSC-104E) / 1ea
-
Output Cable (15m) / max. 4ea
Part #: E-OC-0015
-
D-Sub male Cable 25pin
(5m) / 1ea
Part #: D-25P-0005
-
Fixing Bolt
1/4”X 15L / max 4ea
1/4 X 8L / max 4ea
M4 x 0.7pitch x 10L / max 8ea
-
Power Cable (1.8m) / 1ea
