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10系列光电离装置

VSH-10ED/VSC-104ED 双头一体式

更换周期长，维护更方便

采用双头结构，发生故障等运行故障时，

机头2自动开始运行，

通过缩短更换时间来保障连续的生产线。.

不产生臭氧，狭小空间内也能安装，

且可以连接到电脑，从而识别开/关、

管使用时间以及故障等。


※ 机头请务必安装在已做好遮蔽的设备内。

特点

  • 机头
    • 采用双头结构，机头1发生故障或

      超时时，自动换成机头2运行，可缩短更换时间
    • 消除远处物体的静电
    • 免费保修20000小时（每个机头10000小时）
  • 控制器
    • 显示机头的使用累计时间
    • 采用RS-485通信，可与外部设备连接并管理

      （远程调整）
    • 最多可连接4个机头单元
  • 完美的离子平衡
  • 不产生异物
  • 无需维护
  • 静电消除速度快
  • 不产生臭氧

应用

  • 半导体
    加工晶圆和模具时
  • 胶片
    剥离/卷置/移送区间
  • 显示器
    退回（移送）区间
  • 塑料
    注塑/零部件/材料供应
  • 医药粉剂包装
     
  • 设备内部
    摩擦机、步进式光刻机等

规格

VSH-10ED / VSC-104ED 产品规格

产品 项目 内容
通用 驱动温度 0~40℃
储存温度 -10℃~60℃
驱动湿度 60%以内
储存湿度 85%以内
机头
(VSH-10ED)		 管电压(DC) 11 kV
照射角度 150º
电源输入 DC +12 V
最大功耗 8 W
重量 0.64 kg
控制器
(VSC-104ED)		 电源输入 AC 100~240 V, 50/60 Hz
最大功耗 56 W
重量 0.74 kg
I/O接口 电源、互锁、故障、超时
通信 RS-485
I/O销钉连接器 DSUB 25P母座
* 为了提高质量，设计和产品规格可能会直接更改而不另行通知，敬请谅解。

衰减时间率

* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。

遮蔽方法

材质 遮蔽厚度(mm)
不锈钢 0.2
铝 3
玻璃 5
PVC 4
丙烯酸纤维 46
* 上述遮蔽厚度设计值是遮蔽体距离放射线源10cm时的值，距离低于该数值时，需要增加遮蔽厚度。
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时，测量结果须在法律规定的限值（10μSv/h）范围内。

尺寸(mm)

  • 机头 (VSH-10ED)

  • 控制器 (VSC-104ED)

部件

部件

  • Head (VSH-10ED) / max. 4ea
  • 1:4 Controller (VSC-104ED) / 1ea
  • Output Cable (15m) / max. 4ea
    Part# : E-OC-0015
  • Signal Cable /
    D-Sub male Cable 25pin
    5m / 1ea
    Part #: D-25P-0005
  • Fixing Bolt
    1/4”-20UNC X 15L / max 4ea
    1/4”-20UNC X 15LX 8L / max 4ea
    M4 x 0.7pitch x 10L / max 8ea
  • Power Cable (1.8m) / 1ea

下载
您可以下载产品目录和使用手册。