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Power Feedthrough
진공 챔버 내부로 외부의 전력을 공급하는 장치
진공 챔버 내부의 전력을 공급하는 장치로 반도체 처리설비,
입자 가속기, Furnace, 분석장비, X-선 검출 장치 등의
진공장비에 적합합니다.
또한 고온, 고전압의 장치에도
사용(전극: Molybdenum 사용)이 가능한 최적의 장치입니다.
Features
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- 챔버 벽에서 밀봉 및 전기 절연을 모두 제공 가능
- 밀폐성과 전기 절연을 필요로 하는 애플리케이션을 위한 솔루션을 제공
- 고객 사양에 따라 전극 및 길이 변경 가능
Application
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반도체 처리설비, 입자 가속기, Furnace, 분석장비, X-선 검출 장치,
고온, 고전압 장치 등 (전극: Molybdenum 사용)에 적합
