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工业

光电离装置

中性射线电离装置

中性射线的作用是通过“电离”过程将空气中的分子分离成（+/-）离子。

光电离装置的优点

  • 完美的离子平衡

    '+离子和-离子均等产生，无论带电的表面电荷极性如何，都能均匀地消除静电

  • 不产生金属粉末

    适合洁净室使用，不会因为金属粉末引发产品不良

  • 静电消除速度快

    离子发生密度高，
    静电消除速度比电晕放电式快

  • 不产生臭氧（致癌物）

    与电晕放电式不同，不产生臭氧，可防止工人安全事故和设备腐蚀

安装与应用案例

  • 半导体
    加工晶圆和模具时
  • 胶片
    剥离/卷置/移送区间
  • 显示器
    退回（移送）区间
  • 塑料
    注塑/零部件/材料供应
  • 医药粉剂包装
     
  • 设备内部
    摩擦机、步进式光刻机等